آزمایشگاه مرکزی لایه‌نشانی مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما از مجموعه‌ای از آزمایشگاه‌های تخصصی با تجهیزات پیشرفته در راستای تولید انواع لایه‌های نازک به روش‌های مختلف علی‌الخصوص روش‌های مبتنی بر پلاسما تشکیل شده است.
دستگاه HFCVD
دستگاه HFCVD ساخت این مرکز یک از اولین HFCVDهای ایران است که با قابلیت رسیدن به خلا ده به توان منفی پنج تور که با استفاده از دو پمپ روتاری و پو مپمپ دیفیوژن صورت می‌گیرد. امکان ساخت لایه‌های نازک کربنی را فراهم می‌سازد.
این دستگاه قابلیت حرارت دهی زیرلایه تا ۷۰۰ درجه سانتیگراد را داشته و دمای فیلمان آن به ۲۰۰۰ درجه سانتیگراد می‌رسد.
دستگاه اسپاتر ۳ کاتده
ای دستگاه که ساخت شرکت پوششهای نانو ساختار می‌باشد. با بهره گیری از کنترلگر دیجیتال و داشتن دو ضخامت سنج و دو کنترل جرمی گاز (MFC) قابلیت ساخت انواع لایه‌های رسانا، نیمه رسانا و نارسانا با استفاده از پلاسمای مگنترون DC و RF را دارد.
اسپاتر سه کاتده
لایه نشانی به روش کندوپاش مغناطیسی-
تارگت شخصی
-
گاز آرگون
-
دمای محیط
-
منبع تغذیه DC
-
استفاده از تارگت‌های موجود
-
حرارت دهی زیرلایه تا ۳۰۰ درجه
-
منبع تغذیه RF
-
گاز راکتیو
کوره تیوبی
عملیات حرارتی-
نمونه بدون آلودگی
-
هوا - آرگون - نیتروژن
-
تا ۹۰۰ درجه سانتیگراد